Page 80 - 4609
P. 80
М
Магнетронне розпилю- не потрапляють на анод. Така
вання - метод нанесення іонізація призводить до сут-
покриттів, варіант фізичного тєвої концентрації позитив-
осадження з парової фази, в них іонів біля поверхні міше-
якому пару напилюваного ні і, як наслідок, до високої
матеріалу отримують шляхом швидкості утворення парів.
бомбардування мішені іон- Ступінь іонізації робочого
ним пучком, який формуєть- газу наближається до 100 %,
ся за допомогою магнетрона. за щільності іонного струму
2
Під мішенню (катодом) роз- 1000-2000 А/м . Для запобі-
міщують магніти, силові лінії гання розплавленню мішені
яких у вигляді дуг замика- застосовують її інтенсивне
ються між полюсами. Подача охолодження. М.р. викорис-
постійної напруги 300-800 В товують для нанесення по-
між мішенню та анодом, який крить в основному із металів
розміщений над нею, обумо- і сплавів.
влює виникнення нелінійного Малоциклова втома –
неоднорідного електричного втома матеріалу, при якій
поля і тліючого розряду. Си- утворення мікротріщин або
лові лінії поля перпендикуля- повне руйнування відбува-
рні до поверхні катода і до ються в пружнопластичній
магнітних силових ліній. області при числі циклів на-
Електрони, що імітуються вантаження до 5 10 . Ділення
.
4
катодом, у результаті дії пе-
рехресних електричного і на М.в. і багатоциклову вто-
му по числу циклів умовне.
магнітного полів рухаються Використовується також по-
по циклоїдних траєкторіях, діл за видом зламу, рівнем
утворюючи область замкну-
того дрейфу (потрапляють у напруження та іншими кри-
теріями.
«пастку»). Зазнаючи співуда-
рів з атомами робочого газу Матеріал – складні чи прос-
(зазвичай - аргону), електро- ті речовини, їх суміші, гете-
ни іонізують їх до того часу, рогенні композиції природ-
поки не втрачають енергію і ного чи штучного походжен-
77
