Page 217 - Міністерство освіти та науки України
P. 217
2 Трьохмірне зображення поверхні
Зображення діодного сенсора (давача)
температури та поверхні епітаксіальної
плівки. Як видно з рисунка, моделювання з
допомогою АСМ дозволяє здійснювати прямий
візуальний контроль виробів, розмір яких
облічується у нанометрах
174
