Page 210 - Міністерство освіти та науки України
P. 210
в
Рисунок 9.14 - АСМ-зображення поверхні плівки Au/Si до (а)
та після (б) застосування перетворення Лапласа; в –
чорно-біле зображення поверхні б. Розмір скану 1 х 0,5 мкм.
У додатку Г подано, як приклад результати
моделювання поверхні з допомогою АСМ та
змодельоване зображення діодного сенсора ( давача )
температури на поверхні епітаксіальної плівки.
Викладене підтверджує широкі можливості
модельного підходу з використанням АСМ до
дослідження характеристик виробів, розмір яких
облічується у нанометрах.
209
