Page 48 - 4404

На сьогоднішній день високоточні термометри опору
виготовляють з германію (з діапазоном вимірювання
0,005 К-100 К), вуглецевого скла ( 1,4 К -325 К) і платини
(14 К-800 К). Щоб виготовити термометри опору для
вимірювання в діапазоні температур від 0,03 К до 500 К
використовують германієві плівки на підкладках з арсеніду
галію. Загалом високочастотні термометри опору це
результат останніх вітчизняних досягнень в розробці і
виготовленні термометрів опору, що базуються на гетеро -
структурі Ge/GaAs. Розробка термометрів опору названого
типу почата більш ніж десять років тому.
Основною перевагою даної технології виготовлення є
здатність до адаптації термометра при застосуванні для
вимірювання інших діапазонів температур. Цього результату
досягнуто шляхом застосування сучасних мікроелектронних і
мікро – верстатних технологій в процесі виготовлення плівки
Ge. Чутливий елемент термометра розмірами 0,30,30,2мм
встановлюється у немагнітному корпусі розміром 1,21,0 мм
(рисунок 0.9).

Рисунок 0.10 – Будова термометра опору

46