Page 95 - 399_

Розділ 4. Вимірювання деформації, сили, тиску і потоку 93

перетворювачі мають малу поверхню стику зі зразком (основою), що
зменшує струми утічки при високих температурах і збільшує напругу
ізоляції між чутливим елементом і зразком. З іншого боку, чутливі
фольгові елементи мають велике відношення площі поверхні до площі
поперечного перерізу (чутливість) і є більш стабільними при критичних
температурах і тривалих навантаженнях. Велика площа поверхні і
малий поперечний переріз також забезпечують хороший температурний
контакт чутливого елемента зі зразком, що зменшує саморозігрів
тензометричного перетворювача.
Напівпровідникові тензометричні перетворювачі використовують
п'єзорезистивиий ефект, що виникає в деяких напівпровідникових
матеріалах, таких як кремній і германій, і використовуються для
одержання більшої чутливості пристрою і його вихідного сигналу. Можна
зробити так, щоб напівпровідникові тензометричні перетворювачі
формували при їх деформації позитивний, або негативний сигнал. Їх
можна зробити досить малих розмірів при збереженні високого номіналу
опорів. Напівпровідникові тензомости мають у 30 разів більшу
чутливість, ніж металофольгові, але вони піддаються впливу
температури і важко піддаються компенсації. Зміна їхнього опору від
деформації є нелінійною. Для прецизійних вимірювань їх не
використовують так широко, як металофольгові, однак там, де зміни
температури малі, а чутливость є важливою, вони мають вказані
переваги. Застосовуваний інструментарій подібний апаратурі
металофольгових тензометричних перетворювачів, але менш
критичний при виборі, що визначається великими рівнями сигналів і
меншою точністю перетворювачів. В табл. 4.2 наведено порівняльну
характеристику металевих і напівпровідникових тензометричних
перетворювачів.
Таблиця 4.2 - Характеристики тензометричних перетворювачів

Металевий Напівпровідниковий
Параметр тензометричний
перетворювач
перетворювач
Діапазон
вимірювання 0.1  40.000  0.001  3000 
Тензочутливість 2.0  4.5 50  200
Опір,  120, 350, 600  5000 1000  5000
Допуск резисторів 0.1%  0.2% 1%  2%
Розмір, мм 0.4  150 (стандарт З 6) 1  5